特種氣體在太陽能電池中的應(yīng)用：晶體硅電池片生產(chǎn)中的擴散工藝用 到 POCl3 和 O2，減反射層 PECVD 工藝用到 SiH4、NH3，刻蝕工藝用到 CF4；特種氣體主要包括高純氣體、電子氣體、標(biāo)準(zhǔn)氣體三大類，電子特種氣體（簡稱電子特氣）是特種氣體的 一個重要分支，是超大規(guī)模集成電路（IC）、平面顯示器件（LCD、LED、OLED）、太陽能電池等電子工業(yè)生產(chǎn)不 可或缺的原材料。特種氣體在太陽能電池中的應(yīng)用：非晶硅太陽能 電池在 LPCVD 沉積 TCO 工序用到 DEZn、B2H6；非晶/微晶硅沉積工序用到 SiH4、PH3/H2、 TMB/H2、CH4、NF3 等。
電子特種氣體是集成電路、平板顯示、發(fā)光二極管、太陽能電池等半導(dǎo)體行業(yè)生產(chǎn)制造過程中不可或缺的關(guān)鍵性化工材料，被廣泛的應(yīng)用 于清洗、刻蝕、成膜、摻雜等工藝。特種氣體的重要性：正是因為電子氣體在集成電路制造中的使用量大，應(yīng)用范圍廣的特點。所以電子氣體直接決定了芯片制造的良率 與可靠性等等。所以電子氣體也被譽為集成電路制造中的“血液”。特種氣體的儲存注意事項：根據(jù)儲存的氣體類型設(shè)置標(biāo)牌，如“嚴(yán)禁明火”、“危險”、“禁止入內(nèi)”等等。并配置消防器材、噴淋系統(tǒng)、吸收劑、中和劑、防毒面具、空氣呼吸器等設(shè)施。
特種氣體分類：高純氣體通常指利用現(xiàn)代提純技術(shù)能達到的某個等級純 度的氣體，對于不同類別的氣體，純度指標(biāo)不同，大多用于超大規(guī)模集成電路及分離器 件、光電子等高科技領(lǐng)域；滅菌特種氣體由于它的活潑型，殺菌力強、殺菌譜廣，對物品損害輕微等優(yōu)點，已成為目前主要的日常低溫滅菌方法之一，特種氣體在太陽能電池中的應(yīng)用：非晶硅太陽能 電池在 LPCVD 沉積 TCO 工序用到 DEZn、B2H6；非晶/微晶硅沉積工序用到 SiH4、PH3/H2、 TMB/H2、CH4、NF3 等。
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