愛(ài)拓利微小氣體質(zhì)量流量計(jì)自主研發(fā)的 MFC330 氣體質(zhì)量流量控制器（以下簡(jiǎn)稱 MFC330），主要用于對(duì)氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行精確測(cè)量和控制。

采用優(yōu)質(zhì)的核心部件、高 性能的處理器芯片、智能的控制算法及簡(jiǎn)潔直觀的操作界面，使氣體流量控 制更加精準(zhǔn)、穩(wěn)定和簡(jiǎn)便，內(nèi)置溫度和壓力傳感器，采集氣路溫度、壓力值 外，進(jìn)一步對(duì)氣體流量控制進(jìn)行溫壓補(bǔ)償；支持多種通訊協(xié)議，可以方便高 效的與電腦、PLC、工業(yè)觸摸屏、單片機(jī)等進(jìn)行通訊；具有多氣體測(cè)量，高  精度，高穩(wěn)定性，極低零漂等特性。

MFC330在半導(dǎo)體和集成電路工業(yè)、特種材料學(xué)科、化學(xué)工業(yè)、石油工

業(yè)、醫(yī)藥、環(huán)保和真空等多種領(lǐng)域的科研和生產(chǎn)中有著重要的應(yīng)用。其典型 的應(yīng)用場(chǎng)合包括:  電子工藝設(shè)備,  如擴(kuò)散、氧化、外延、 CVD、等離子刻

蝕、濺射、離子注入;  以及鍍膜設(shè)備、光纖熔煉、微反應(yīng)裝置、混氣配氣系 統(tǒng)、毛細(xì)管測(cè)量、氣相色譜儀及其它分析儀器。

介質(zhì)要求   潔凈干燥氣體

氣體種類  98+氣體可選

量程  0-2，10，20，50，100，300，500 sccm

0-1，2，5，10，20，30，50，100，200，500slpm

測(cè)量范圍  0.5%F.S.（1:200）

控制范圍  1%-100% FS.（1:100）

準(zhǔn)確度  ±1% F.S.

重復(fù)精度  ±0.2%F.S.

線性度  ±0.2%F.S.

控制響應(yīng)時(shí)間  <3 秒

預(yù)熱時(shí)間  5 min（T95），30 分鐘最佳

閥門  常閉式

機(jī)械特性

最大工作壓力  3 MPa（30bar）

工作壓差范圍  0-1 MPa

工作溫度范圍  -20~65℃（環(huán)境和氣體）

濕度范圍  0 ~ 98%無(wú)凝露

氣路接頭類型  卡套、VCR、快插、快擰（可選）

氣體接觸材質(zhì)  氟橡膠、304/316不銹鋼

密封材質(zhì)

氟橡膠 FKM

防護(hù)等級(jí)  IP40

安裝方式  水平安裝方向校準(zhǔn)

固定孔  M4 ? 5mm

重量  0.96kg

電氣和通訊

電氣連接接口類型  DB-9 公頭

模擬信號(hào)  0 - 5 VDC，4 - 20 mA（可定制）

輸入輸出阻抗  輸入阻抗>10MΩ，輸出阻抗<1KΩ

模擬數(shù)據(jù)更新頻率  200Hz

數(shù)字信號(hào)  Modbus RTU （RS232， RS485）， CAN

通信速率  9600（默認(rèn)），14400，19200，38400，56000，57600，115200 bps（用戶可修改）

電源  15-40 VDC，<200 mA

顯示更新頻率  50Hz

模擬信號(hào)精度  ±0.05%F.S.