愛(ài)拓利微小氣體流量計(jì)MFC330 系列氣體質(zhì)量流量計(jì)/控制器，其結(jié)構(gòu)包含毛細(xì)管柱式流量傳感器、旁路分流系統(tǒng)、高精度比例閥和控制系統(tǒng)。

被測(cè)氣體進(jìn)入后，先通過(guò)傳感器和旁路分流系統(tǒng)。由傳感器實(shí)時(shí)測(cè)量氣體流量、高精度比例閥動(dòng)態(tài)響應(yīng)快速調(diào)節(jié)氣體流量至設(shè)定值。測(cè)量與調(diào)節(jié)流量的閉環(huán)結(jié)構(gòu)，即使環(huán)境溫度變化或進(jìn)出口氣壓波動(dòng)，MFC330 依然能夠保持穩(wěn)定的流量控制。

產(chǎn)品特點(diǎn)

精準(zhǔn)質(zhì)量流量測(cè)量/控制

快速響應(yīng)、高重復(fù)性

不受溫度和壓力的影響

工作壓差范圍大：0-1MPa

低壓損可選

全金屬比例閥可選

集成顯示器可選

經(jīng)濟(jì)有效的解決方案

技術(shù)參數(shù)

主要參數(shù)

介質(zhì)要求   潔凈干燥氣體

氣體種類  98+氣體可選

量程  0-2，10，20，50，100，300，500 sccm

0-1，2，5，10，20，30，50，100，200，500slpm

測(cè)量范圍  0.5%F.S.（1:200）

控制范圍  1%-100% FS.（1:100）

準(zhǔn)確度  ±1% F.S.

重復(fù)精度  ±0.2%F.S.

線性度  ±0.2%F.S.

控制響應(yīng)時(shí)間<3 秒

預(yù)熱時(shí)間  5 min（T95），30 分鐘優(yōu)良

閥門(mén)  常閉式

愛(ài)拓利精準(zhǔn)流量測(cè)控AITOLY INSTRUMENTS由蘇州愛(ài)拓利電子設(shè)備有限公司及無(wú)錫愛(ài)拓利電子科技有限公司組成?？偛刻K州愛(ài)拓利位于蘇州市吳江區(qū)柳胥路99號(hào)半導(dǎo)體智能制造創(chuàng)新港。分公司無(wú)錫愛(ài)拓利成立于2017年，位于無(wú)錫新吳區(qū)清源路20號(hào)大學(xué)科技園。愛(ài)拓利精準(zhǔn)流量測(cè)控AITOLY INSTRUMENTS，專業(yè)從事氣體質(zhì)量流量測(cè)量與控制。愛(ài)拓利擁有自己的研發(fā)團(tuán)隊(duì)，具有高水平的產(chǎn)品設(shè)計(jì)、結(jié)構(gòu)、硬件和軟件等研發(fā)能力，是國(guó)內(nèi)少數(shù)能夠自主研發(fā)生產(chǎn)高精度氣體質(zhì)量流量計(jì)和氣體質(zhì)量流量控制器的企業(yè)，更是國(guó)內(nèi)極少數(shù)能夠自主研發(fā)生產(chǎn)氣體流量計(jì)及流量控制器核心部件（高精度氣體流量傳感器和高穩(wěn)定性微型比例閥）的氣體流量控制產(chǎn)品生產(chǎn)廠家。愛(ài)拓利質(zhì)量流量計(jì)及控制器被廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、光伏、真空鍍膜、生命科學(xué)、燃料電池、精度分析儀器、石化、制氣、醫(yī)療、食品、工業(yè)自動(dòng)化控制等行業(yè)。在不斷追求創(chuàng)新和突破的同時(shí)，愛(ài)拓利十分注重產(chǎn)品品質(zhì)。愛(ài)拓利有一套嚴(yán)謹(jǐn)科學(xué)的檢測(cè)標(biāo)準(zhǔn)和質(zhì)量控制體系，并通過(guò)了ISO9001質(zhì)量體系認(rèn)證。通過(guò)標(biāo)準(zhǔn)化生產(chǎn)，規(guī)范化管理，愛(ài)拓利持續(xù)穩(wěn)定地向顧客提供高質(zhì)量的合格產(chǎn)品。通過(guò)多年的研發(fā)、生產(chǎn)和應(yīng)用經(jīng)驗(yàn)積淀，愛(ài)拓利先后推出了多款氣體質(zhì)量流量計(jì)和控制器。支持多種通訊協(xié)議，氣體種類覆蓋面廣、控制及測(cè)量精度高、響應(yīng)速度快、性能穩(wěn)定。